三氟化氮在常溫下是一種無(wú)色、無(wú)臭、性質(zhì)穩定的氣體，是一種強氧化劑。三氟化氮在微電子工業(yè)中作為一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體，在離子蝕刻時(shí)裂解為活性氟離子，這些氟離子對硅和鎢化合物，高純三氟化氮具有優(yōu)異的蝕刻速率和選擇性（對氧化硅和硅），它在蝕刻時(shí)，在蝕刻物表面不留任何殘留物，是非常良好的清洗劑，同時(shí)在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的運用。

儲存及運輸

三氟化氮氣瓶應儲存于陰涼、通風(fēng)倉庫內。三氟化氮氣瓶應遠離火種、熱源、防止陽(yáng)光直射，與還原劑、易燃或可燃物等分開(kāi)存放。

三氟化氮氣瓶在搬運時(shí)要輕裝、輕卸，防止鋼瓶及附件破損。

三氟化氮氣瓶的運輸按危險品運輸。運輸時(shí)用氣瓶固定架將三氟化氮氣瓶固定好，用汽車(chē)公路運輸或用輪船集裝箱運輸。

泄漏應急處理

如遇有三氟化氮氣體泄露，工作人員要馬上撤離泄漏污染區，并盡可能采取措施阻止三氟化氮氣體的進(jìn)一步泄露。如有工作人員中毒，應立即送往醫院救治。

泄露現場(chǎng)要盡快處理，處理泄露現場(chǎng)的工作人員必須配戴必要的防毒面具，最好是自給正壓式呼吸器。泄露現場(chǎng)經(jīng)檢測無(wú)危害氣體后方可進(jìn)入工作人員，泄露容器必須經(jīng)仔細檢查、維修或妥善處理好后方可繼續使用。

三氟化氮氣體產(chǎn)品質(zhì)量標準（QJ58-2007）

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